制备条件对铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜结构和电学性质的影响

张天宝, 李金培

Effects of Preparing Conditions on Structure and Electrical Properties of AZO Films

ZHANG Tian-bao, LI Jin-pei

影像科学与光化学 . 2009, (6): 452 -461 . DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2009.06.452