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1986年 第4卷 第2期    刊出日期：1986-05-20
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研究论文

干法显影的电子束抗蚀剂——聚环己烯砜叠氮系

杨永源, 冯树京, 高志民, 电子束光刻组

1986, 4(2):  1-6.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.1

摘要 ( 751 )   HTML ()   PDF (481KB) ( 1294 )  

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本文研究了用四氟化碳-氧等离子体进行干法显影的电子束刻蚀技术。负型电子束抗蚀剂是由聚环己烯砜和2,6-双-(4'-叠氮苯亚甲基)-4-甲基环己酮组成,其灵敏度为1.5×10^-5C/cm²,分辨率小于1μm,反差约1.43。并讨论了干法显影的影响因素和机理。

多分散溴碘化银乳剂的离子电导性质及表面空间电荷层

程学新, 彭必先

1986, 4(2):  7-11.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.7

摘要 ( 650 )   HTML ()   PDF (320KB) ( 1187 )  

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采用酶解沉降法将碘含量为6mol%的多分散的溴碘化银乳剂分成9个级份,测量各个级份的乳剂在不同温度下的离子电导率,求出它们的离子电导活化能和表面空间电荷层的特性参数。发现各个级份乳剂之间在离子电导性质上有很大的差异。随着碘含量的下降,离子电导活化能从0.30eV上升到0.41eV,同时表面电位也相对地变得越来越正。相应地它们的填隙银离子生成能也越来越大。还讨论了这些差异对各级乳剂的照相性能的影响。

用计算机模拟技术研究潜影形成的机理

赵井泉, 夏培杰

1986, 4(2):  12-22.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.12

摘要 ( 817 )   HTML ()   PDF (733KB) ( 1209 )  

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用Monte Carlo计算机模拟技术研究了溴化银立方晶体中潜影形成的机理。根据潜影研究的一些重要实验结果,在设计模拟模型时作了以下基本假定:(1)光照产生的电子在离子步骤发生之前,很快就达到导带与浅陷阱两种状态的平衡,这里除了表面结点位和晶格位错位之外,填隙银离子也能起浅电子陷阱的作用;(2)Ag、Ag₂和Ag₃的形成(成核过程)为低效过程,而Ag₄⁺ 形成后的成长为高效过程;(3)光照产生的正空穴要经历“V”中心,溴原子和溴分子的演变过程,此时可能发生复合反应和回归反应。 模拟参数的估计是基于一些物理测量,如微波光导和介电损耗等的测量结果。模拟结果定量地展示了潜影形成过程中各种反应物,中间物和生成物的产生和变化,并与宏观的实验结果,如感光响应曲线和互易律失效曲线等,相当一致。

酸敏变色记录材料光化反应的研究

王艳乔, 周小民, 陈柳生, 邱联雄

1986, 4(2):  23-29.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.23

摘要 ( 710 )   HTML ()   PDF (413KB) ( 1250 )  

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本文研究了一种由含卤共聚物和酸敏指示剂所组成的记录显示材料的光化反应,阐明了其成象过程中主要光化反应的机理,并对加入酸性添加剂,改善图象稳定性作了试验和讨论。

三分子激基复合物的研究

陈尚贤, 章立民

1986, 4(2):  30-36.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.30

摘要 ( 745 )   HTML ()   PDF (407KB) ( 1224 )  

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本文证实了苊与1,4-二氰基苯(DCB)可以形成激基复合物,同时当苊的浓度较大时,也可以生成三分子的激基复合物。此外还证明了聚苊可以生成非相邻的激基缔合物,聚苊与DCB也可以生成三分子激基复合物。通过光物理过程的动力学推导,证明在聚苊体系中,先生成(DA)^*,然后再形成(DDA)^*三分子激基复合物。

4,4-双叠氮联苯光解中间体的多重态研究

黄骏廉, 于同隐

1986, 4(2):  37-42.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.37

摘要 ( 665 )   HTML ()   PDF (397KB) ( 1259 )  

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本文用顺磁共振和色谱分析等方法,证明了4,4'-双叠氮联苯光解产生的叠氮氮烯和双氮烯都是三重态;而热分解产生的中间体则是由单重态双氮烯所组成。因此4,4'-双叠氮联苯的热分解反应很可能具有和光分解反应完全不同的机理。

双-β-萘甲基二胺及其衍生物的荧光光谱及分子内激发态复合物的形成

许慧君, 袁振利

1986, 4(2):  43-48.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.43

摘要 ( 620 )   HTML ()   PDF (344KB) ( 1205 )  

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我们合成了N,N'-二甲基-二-β-萘甲基乙二胺(Ⅰ),N,N'-二甲基-二-β-萘甲基丙二胺(Ⅱ),N,N'-二-β-萘甲基哌嗪(Ⅲ)三个化合物,并测定了它们的荧光光谱。结果表明,它们既能形成分子内激基缔合物(excimer),又能形成分子内激基复合物(exciplex),与溶剂极性有关。在极性较大的溶剂如乙腈和甲醇中,由于激基复合物几乎完全解离因而不发射荧光,这时观察到的荧光峰蓝移而且强度增加,可以认为,这是激基缔合物存在的证明。这三个化合物的分子内激基缔合物形成的难易程度按Ⅱ>Ⅰ>Ⅲ的次序依次递降。

用电子吸收光谱和荧光光谱研究芳胺引发的光聚合机理

李橦, 曹维孝, 冯新德

1986, 4(2):  49-55.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.49

摘要 ( 685 )   HTML ()   PDF (408KB) ( 1366 )  

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用紫外吸收光谱和荧光光谱分析了苯胺等芳胺引发光聚合的聚丙烯腈和聚甲基丙烯酸甲酯的端基,认为一级胺引发的聚合物端基为二级胺,二级胺引发的聚合物端基为三级胺,从而表明,一级芳胺和二级芳胺在光照下与烯类单体相互作用产生氮自由基引发聚合。

9,10-二氰基蒽敏化光氧化反应的溶剂效应

张宝文, 陈建新, 曹怡

1986, 4(2):  56-61.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.56

摘要 ( 675 )   HTML ()   PDF (391KB) ( 1164 )  

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本文通过α,β-蒎烯及1,4-二苯基-1,3-丁二烯的9,10-二氰基蒽(DCA)敏化光氧化反应在一系列溶剂中产物生成的相对量子效率及单线态氧(¹O₂)产物的含量,对β-蒎烯在乙腈中的反应动力学分析,讨论了反应的溶剂效应,证明了DCA敏化光氧化反应,包括¹O₂产物都是经由电子转移的反应机理。

应用与发展

改性明胶用盐絮凝对乳剂感光度的影响

庄思永, 刘杏芹

1986, 4(2):  62-64.  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1986.02.62

摘要 ( 668 )   HTML ()   PDF (176KB) ( 1137 )  

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在照相乳剂制造过程中,乳化阶段生成的可溶性副产物,如硝酸钾以及剩余的可溶性反应物如溴化钾,都必须除去,然后才能进行化学增感和光谱增感,因为它们的存在会妨碍增感反应,影响感光材料的照相性能。要除去这些可溶性的盐有许多方法。过去常用的冷却切条水洗法已逐渐被絮凝法代替^[1],因为用絮凝法能节省大量的时间和能量。