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成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的影响
薛永薰, 邬兰, 王鹏
Imaging Science and Photochemistry . 2000, (
1
): 85 -94 . DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2000.01.85
