硅在HF溶液中阳极溶解的研究
尹峰, 李学萍, 肖绪瑞
A STUDY OF ANODIC DISSOLUTION OF SILICON IN HF SOLUTIONS
YIN Feng, LI Xueping, XIAO Xurui
影像科学与光化学 . 1997, (1): 80 -83 .  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1997.01.80

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