水溶性负性光致抗蚀剂的研制
单英敏, 曹瑞军, 高颖, 刘毅
Preparation of Water-Soluble Negative Photoresist
SHAN Ying-min, CAO Rui-jun, GAO Ying, LIU Yi
影像科学与光化学 . 2008, (2): 116 -124 .  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2008.02.116

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