纳米压印抗蚀剂研究进展
霍永恩, 贾越, 王力元
Progress of the Study on Nanoimprint Resists
HUO Yong-en, JIA Yue, WANG Li-yuan
影像科学与光化学 . 2008, (2): 148 -156 .  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2008.02.148

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