聚羟基苯乙烯在光致抗蚀剂中的应用及其合成
刘建国, 郑家燊, 李平
Applications and Syntheses of Polyhydroxystyrene in Deep UV Photoresist
LIU Jian-guo, ZHENG Jia-shen, LI Ping
影像科学与光化学 . 2006, (1): 67 -74 .  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2006.01.67

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