没食子酸丙酯改性的酚醛-邻重氮萘醌类感光性树脂的研究

影像科学与光化学 ›› 1987, Vol. 5 ›› Issue (2): 61-65.DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1987.02.61

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没食子酸丙酯改性的酚醛-邻重氮萘醌类感光性树脂的研究

黄骏廉¹, 顾振军²

1. 复旦大学材料科学研究所, 上海;
2. 上海交通大学应用化学系, 上海

收稿日期:1986-05-12 修回日期:1986-12-24 出版日期:1987-05-20 发布日期:1987-05-20

¹

Received:1986-05-12 Revised:1986-12-24 Online:1987-05-20 Published:1987-05-20

摘要/Abstract

摘要： 酚醛-邻重氮萘醌类感光性树脂有较高的分辨力和优良的成膜性能,因此,在电子工业、印刷技术以及其它需进行微细加工的领域中得到了广泛的应用。但是,这类树脂的感光灵敏度不高,光照部份和未光照部份在显影液中的溶解度差别不大,即反差很小,因而给微细加工带来了很大的困难。

关键词: 没食子酸丙酯, 酚醛-邻重氮萘醌, 感光性树脂, 灵敏度, 反差系数

黄骏廉, 顾振军. 没食子酸丙酯改性的酚醛-邻重氮萘醌类感光性树脂的研究[J]. 影像科学与光化学, 1987, 5(2): 61-65.

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