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光敏聚酰亚胺光刻胶及光刻工艺的研究
白宗武, 张秋红, 黄小力, 黄毓礼
影像科学与光化学 . 1995, (
4
): 366 -370 . DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1995.04.366