5-硝基二氢苊在无显影气相光刻中的光致诱蚀作用的研究——5-硝基二氢苊的光氧化反应
洪啸吟, 刘丹, 李钟哲, 刘密新
STUDIES ON THE PHOTOINDUCED ETCHING EFFECT OF 5-NITROACENAPHTHENE IN THE DEVELOPMENT-FREE VAPOR PHOTOLITHOGRAPHY ——THE PHOTOOX1DATION OF 5-NITROACENAPHTHEN
HONG XIAO-YIN, LIU DAN, LI ZHONG-ZHE, LIU MI-XIN
影像科学与光化学
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1992, (4): 332
-339
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DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1992.04.332
