碘代聚苯乙烯——负型电子束、远紫外抗蚀剂
高志民, 杨永源, 冯树京
IODINATED POLYSTYRENE: A NEGATIVE ELECTRON BEAM AND DEEP UV RESIST
GAO ZHI-MIN, YANG YONG-TUAN, FENG SHU-JING
影像科学与光化学 . 1985, (4): 38 -42 .  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.1985.04.38

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