一种新型紫外正型光刻胶成膜树脂的制备及光刻性能研究
谢文, 刘建国, 李平
A Novel UV Photoresist Matrix Resin and Its Photolithographic Processes
XIE Wen, LIU Jian-guo, LI Ping
影像科学与光化学 . 2010, (1): 52 -58 .  DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2010.01.52

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