含POSS光刻胶材料研究进展
尤凤娟, 韩俊, 严臣凤, 王力元
Research Progress of POSS-containing Photoresist Materials
YOU Fengjuan, HAN Jun, YAN Chenfeng, WANG Liyuan
影像科学与光化学 . 2019, (5): 465 -472 .  DOI: 10.7517/issn.1674-0475.190605

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