重氮萘醌系正性抗蚀剂“增感”的进展

余尚先, 顾江楠, 童晓, 方慧聪

Received:1997-02-17 Revised:1997-09-11 Online:1998-02-20 Published:1998-02-20

摘要： 近年来有关重氮萘醌系正性抗蚀剂提高感度的研究文献综述均对应用较为成功的多酚化合物作了较为详细的介绍.

关键词: 重氮萘醌, 正性抗蚀剂, 多酚化合物, 高感度, M/A值控制规律

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