卟啉及BODIPY衍生物设计合成及光物理性质研究基于分子玻璃主体材料的极紫外(EUV)光刻胶研发

影像科学与光化学 ›› 2014, Vol. 32 ›› Issue (5): 493-493.

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卟啉及BODIPY衍生物设计合成及光物理性质研究基于分子玻璃主体材料的极紫外(EUV)光刻胶研发

郝青山, 李嫕, 陈金平

中国科学院理化技术研究所, 北京 100190

出版日期:2014-09-15 发布日期:2014-09-15

Online:2014-09-15 Published:2014-09-15

摘要/Abstract

郝青山, 李嫕, 陈金平. 卟啉及BODIPY衍生物设计合成及光物理性质研究基于分子玻璃主体材料的极紫外(EUV)光刻胶研发[J]. 影像科学与光化学, 2014, 32(5): 493-493.

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