非离子型产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成与性能研究

doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2007.03.198

影像科学与光化学 ›› 2007, Vol. 25 ›› Issue (3): 198-203.DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2007.03.198

非离子型产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成与性能研究

李平, 王霞, 刘建国, 李萍

华中科技大学, 化学与化工系, 湖北, 武汉, 430074

收稿日期:2006-10-10 修回日期:2007-01-05 出版日期:2007-05-23 发布日期:2007-05-23
通讯作者: 李平,E-mail:lpg6@yahoo.com.

Synthesis and Characterization of the Non-Ionic Photoacid Generator-Phthalimidotosylate

LI Ping, WANG Xia, LIU Jian-guo, LI Ping

Department of Chemistry, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, Hubei, P. R. China

Received:2006-10-10 Revised:2007-01-05 Online:2007-05-23 Published:2007-05-23

摘要/Abstract

摘要： 以邻苯二甲酸酐、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料,合成了非离子型光致产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,对其进行了红外、核磁共振和紫外表征,测定了其化学结构、溶解性和紫外吸收等性能.结果表明,这种非离子型产酸剂较离子型产酸剂在常用溶剂中有非常良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可用于深紫外光刻工艺体系.

关键词: 产酸剂, 光致抗蚀剂, N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯

Abstract: Phthalimidotosylate (PIT) was synthesized from ophthalic anhydride,hydroxylamine hydrochloride and p-toluenesulfonyl chloride. It was characterized with FTIR and 1H NMR.Experiments showed that PIT has good transparence in 248 nm wavelength (absorbance=0.375) and good solubility in organic solvents.So it is a good potential photoacid generator (PAG) in the deep-UV 248 nm photoresist system.

Key words: photoacid generator, photoresist, phthalimidotosylate

中图分类号:

李平, 王霞, 刘建国, 李萍. 非离子型产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成与性能研究[J]. 影像科学与光化学, 2007, 25(3): 198-203.

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Synthesis and Characterization of the Non-Ionic Photoacid Generator-Phthalimidotosylate

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