光致酸发生剂——对甲基苯磺酸三苯基硫盐的合成

doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2006.06.450

影像科学与光化学 ›› 2006, Vol. 24 ›› Issue (6): 450-453.DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2006.06.450

光致酸发生剂——对甲基苯磺酸三苯基硫盐的合成

李萍, 李平, 刘建国

华中科技大学, 化学系, 湖北, 武汉, 430074

收稿日期:2006-05-22 修回日期:2006-06-14 出版日期:2006-11-23 发布日期:2006-11-23
通讯作者: 李平(1957-), 女, 教授, 博导, Tel:027-87543432.

Synthesis of the Photoacid Generator——Triphenylsulfonium Tosylate

LI Ping, LI Ping, LIU Jian-guo

Department of Chemistry, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, Hubei, P.R. China

Received:2006-05-22 Revised:2006-06-14 Online:2006-11-23 Published:2006-11-23

摘要/Abstract

摘要： 以二苯亚砜为起始反应物,通过改进反应溶剂,首先合成了溴化三苯基硫盐,大大缩短了反应时间,提高了该盐的反应收率.再运用银盐置换法,合成了光致酸发生剂——对甲基苯磺酸三苯基硫盐,并对其进行了红外和核磁共振表征.

关键词: 光致抗蚀剂, 光致酸发生剂, 对甲基苯磺酸三苯基硫盐

Abstract: The triphenylsulfonium bromide was synthesized from the original reactant biphenyl sulfoxide with the improvement of the solvent medium. The reaction time was greatly shortened and its yield was boosted. Then the photoacid generator(PAG) triphenylsulfonium tosylate was synthesized by silver salt replacement. Its FT-IR and ¹H NMR spectra were tested.

Key words: photoresist, photoacid generator, triphenylsulfonium tosylate

中图分类号:

李萍, 李平, 刘建国. 光致酸发生剂——对甲基苯磺酸三苯基硫盐的合成[J]. 影像科学与光化学, 2006, 24(6): 450-453.

LI Ping, LI Ping, LIU Jian-guo. Synthesis of the Photoacid Generator——Triphenylsulfonium Tosylate[J]. Imaging Science and Photochemistry, 2006, 24(6): 450-453.

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Synthesis of the Photoacid Generator——Triphenylsulfonium Tosylate

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