1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究

doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2005.05.389

影像科学与光化学 ›› 2005, Vol. 23 ›› Issue (5): 389-393.DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2005.05.389

1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究

盛丽英¹, 张颂培², 王力元¹

1. 北京师范大学, 化学系, 北京, 100875;
2. 北京工商大学, 化工学院, 北京, 100037

收稿日期:2005-04-27 修回日期:2005-06-03 出版日期:2005-09-23 发布日期:2005-09-23
通讯作者: 王力元
基金资助:
国家“十五”“863”专项子课题(2002AA3Z1330-2).

The Preparation and Properties of 1-Substituted cis-1,2-Cyclohexanediol Monosulfonate Acid Amplifier

SHENG Li-ying¹, ZHANG Song-pei², WANG Li-yuan¹

1. Chemistry Department of Beijing Normal University, Beijing 100875 P.R. China;
2. Chemical and Environmental Engineering College, Beijing Technology and Business University, Beijing 100037 P.R. China

Received:2005-04-27 Revised:2005-06-03 Online:2005-09-23 Published:2005-09-23

摘要/Abstract

摘要： 用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇,继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯.以溴酚兰作指示剂,用作者自己的方法定量测定了它们在聚乙二醇膜层中的酸解性能.结果表明,在光产酸剂所产酸作用下,在加热条件下这些化合物发生分解并产酸.这两个磺酸酯的储存稳定性不是很好,在极性溶剂作用下易分解,限制了它们在化学增幅型成像材料中的应用.

关键词: 酸增殖剂, 光产酸剂, 光致抗蚀剂, 磺酸酯

Abstract: Two 1-substituted cis-1,2-cyclohexanediol monosulfonate acid amplifiers were prepared by hydrogen peroxide oxidizing of corresponding olefin and then esterified with p-toluenesulfonyl chloride. The acidolysis properties were studied directly by detecting the small amounts of acid generated by the compounds with our method using bromophenol as indicator. The two compounds displayed good acidolysis property when moderately warmed but the storage stability is low. They are also unstable to polar solvents.

Key words: acid amplifier, photoresists, sulfonate, PAG

中图分类号:

盛丽英, 张颂培, 王力元. 1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究[J]. 影像科学与光化学, 2005, 23(5): 389-393.

SHENG Li-ying, ZHANG Song-pei, WANG Li-yuan. The Preparation and Properties of 1-Substituted cis-1,2-Cyclohexanediol Monosulfonate Acid Amplifier[J]. Imaging Science and Photochemistry, 2005, 23(5): 389-393.

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1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究

The Preparation and Properties of 1-Substituted cis-1,2-Cyclohexanediol Monosulfonate Acid Amplifier

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